Microscopio de forza atómica: Diferenzas entre revisións

Historicamente as primeiras pancas tiñan un tamaño de varios mm e adoitaban fabricarse de metal, por exemplo a partir dun fío de [[volframio]] cun extremo afiado e dobrado en ángulo recto para formar a punta. Máis tarde foi necesariotard, para mellorar a velocidade de varrido sen perder resolución, foi necesario que as pancas tiverantivesen masas cada vez menores e simultaneamente frecuencias de [[resonancia]] maiores. A solución a este problema atopouse na [[microfabricación]] das pancas.

As micropancas prodúcense na actualidade empregando métodos de microfabricación herdados inicialmente da industria microelectrónica, como [[litografía]] de superficie e gravados reactivos de plasma de ións (RIE e DRIE, siglas en inglés de ''Reactive Ion Etching'' e ''Deep Reactive Ion Etching''). As '''puntas''' adoitan fabricarse a partir de deposicións de vapor dalgún material axeitado sobre aunha panca xa fabricada, e nese caso o resultado adoita ser unha punta cónica, ou máis comunmentepero, cando o [[silicio]] foi o material elixido, recorrendoo máis común é recorrer a técnicas de [[gravado anisótropo]]. O grabadogravado anisótropo implica o uso dunha solución gravadora que escava o material só ou preferentemente en certas [[Redes de Bravais|direccións cristalográficas]]. Desta maneira, é posible producir puntas piramidais limitadas por planos cristalográficos do material.