Nanolitografía

A nanolitografía é unha rama da nanotecnoloxía que trata do estudo e a súa aplicación na fabricación de microestruturas de escala nanométrica , atinxindo modelos con cando menos unha dimensión lateral comprendida entre o grandor dun átomo e 100 nm. Emprégase na nanocircuitería dos circuítos integrados semicondutores de punta integrada e nos sistema nanoelectromecánico.

Técnicas

A principal técnica empregada é a fotolitografía que pode producir modelos utilizando unha lonxitude de onda moi curta, actualmente 193 nm.

Véxase tamén

Ligazóns externas

• Nanotechnology Research Center-Georgia Institute of Technology (en inglés).